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首先给出了采用场致发射阴极的微束斑X射线源电子光学系统结构，然后利用数值模拟的方法对该系统进行了计算与分析，最终获得了一发射电流约为80μA，束斑半径约为3．2μm的微束斑X射线源电子光学系统优化结构。该结构制作简单、体积小，可供制作微束斑X射线源时选用。
微束斑X射线源电子光学系统设计与数值模拟
【摘 要】
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首先给出了采用场致发射阴极的微束斑X射线源电子光学系统结构，然后利用数值模拟的方法对该系统进行了计算与分析，最终获得了一发射电流约为80μA，束斑半径约为3．2μm的微束斑X射
【机 构】
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西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2008年5期
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