光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响

来源 :中国光学与应用光学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jinshuxian
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为了提高用莫尔条纹法测量扭转角的测量精度,分析了光栅周期不一致对扭转角测量误差的影响。从基于莫尔条纹法测量扭转角的原理出发,论述了光栅周期不一致与测量精度的关系,讨论了引起两光栅周期不一致的两个因素,即光栅刻划误差以及两光栅栅面不平行。理论分析表明,前者是引起光栅周期不一致的主要原因。当两光栅等效周期比值卢〈1.001时,在±15’的测量范围内,选择光栅周期为50μm,莫尔条纹宽度为1400~1800μm时,光栅周期不一致引起的测量误差可以控制在1.6″之内。
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