大孔径直线度误差的检测

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本文应用测量平面直线度误差的自准直原理,将自准直仪反射镜基准面的结构进行了改造。改变后的自准直仪,可以代替目前使用的望远式测量仪器,测量深孔的直线度误差,其测量精度可以提高到0.005毫米。
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