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针对复杂的半导体制造过程调度，在综述现有调度问题及方法的基础上，提出由投料调度、路径调度和两种类型的工件调度共同组成的分层调度结构的思想及方案，继而基于Petri订网模型，探讨所提出的分层半导体调度结构基于Petri网模型的实现方法，最后通过仿真对分层调度结构加以应用验证，并总结全文．
基于Petri网的分层半导体制造过程调度结构
【摘 要】
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针对复杂的半导体制造过程调度，在综述现有调度问题及方法的基础上，提出由投料调度、路径调度和两种类型的工件调度共同组成的分层调度结构的思想及方案，继而基于Petri订网模型，
【机 构】
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同济大学CIMS研究中心,上海贝岭股份有限公司
【出 处】
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同济大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2006年11期
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