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对三种不同梁厚(40μm,20μm,10μm)的微结构进行了模态和静力分析,并制作了相应的水听器进行灵敏度测试,并且得到了不同微结构尺寸之间其灵敏度或带宽的比例关系，可为选择不同微结构的纤毛式MEMS矢量水听器以满足其不同的实际应用需求提供了理论依据。
不同微结构的纤毛式MEMS矢量水听器性能研究
【摘 要】
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对三种不同梁厚(40μm,20μm,10μm)的微结构进行了模态和静力分析,并制作了相应的水听器进行灵敏度测试,并且得到了不同微结构尺寸之间其灵敏度或带宽的比例关系，可为选择不
【机 构】
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上海船舶电子设备研究所,上海,201108;中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原,030051上海船舶电子设备研究所,上海,201108中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原,03005
【出 处】
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2016年船舶通讯导航学术会议
【发表日期】
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2016年10期
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