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近年来，激光诱导的多相化学反应已作为多种新颖加工工艺，在微电子元件生产中得应用。激光诱导化学的研究本身又有助,于对固体表面光控制反应本质产生新的认识与理解。
激光诱导化学在微电子学中的应用
【摘 要】
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近年来，激光诱导的多相化学反应已作为多种新颖加工工艺，在微电子元件生产中得应用。激光诱导化学的研究本身又有助,于对固体表面光控制反应本质产生新的认识与理解。
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1987年24期
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