【摘 要】
：
氧化铟锡(ITO)导电膜具有电阻率低、透光性好、耐高温等优点,在光电领域具有重要应用。在实际应用中,ITO常需被加工成各种形状的电极来实现相应的功能。而现有加工方法得到的
【机 构】
：
大连海事大学轮机工程学院; 广东海洋大学航海学院;
论文部分内容阅读
氧化铟锡(ITO)导电膜具有电阻率低、透光性好、耐高温等优点,在光电领域具有重要应用。在实际应用中,ITO常需被加工成各种形状的电极来实现相应的功能。而现有加工方法得到的ITO电极尺寸一般为10-200μm,这限制了ITO电极在微纳领域的应用。本文在传统湿法刻蚀方法的基础上,利用无掩模光刻技术对ITO玻璃表面光刻胶进行高精度曝光,再通过优化曝光、显影及刻蚀等过程,最终加工出尺寸仅为2μm的电极。此外,该方法所加工的电极具有线性度高、无钻蚀、误差小等优点。该研究为ITO电极在微纳领域应用开发奠定基础。
其他文献
本文讨论的“除”字句，即通常所说的“除”字短语充当状语的句子，这种句子一般可分为“除”字短语A和非“除”字短语B两段。它作为一种特殊句式，历来为语言研究者所关注。在前人
园林景观绿化工程的建设,可以有效加强我国生态环境质量,是加快我国城市化进程的重要保障。本文阐述了现代园林景观绿化管理的特点,分析了现代园林景观绿化养护管理工作方法
词典使用研究是现代词典学学术研究的一个重要组成部分。本论文致力于应用词典学的建设，着眼于电子词典的使用研究，初步设计开发出了一个电子词典使用信息捕获系统。它是一个针
本文依据我们收集的儿童语料，考察了1—5岁汉族儿童习得时处格、根由格、关涉格介词的状况。考察时以1—5岁儿童发展较充分的时处格介词为重点，从句法、语义、语用三个层面对儿
随着国家经济与科技的发展,人们逐渐提高了对安全防范系统的要求,多种先进技术被应用到安防系统设计中,尤其是在网络化与数字化不断发展的今天,数字化综合安防系统已成为现代
在知识经济时代，企业所面临的竞争越来越激烈，单凭企业自身的实力已很难完成技术创新的复杂过程，于是许多企业开始寻找外部合作伙伴，诸如企业网络、产业集群、产业联盟、产学研合
海涂围垦对沿海地区土地资源的开发利用具有重要意义,但围垦工程工后围堤的存在会对围垦区内既有的近堤桥桩产生一定的影响:一方面,围堤的建造改变了地基中的渗流场,渗流场的
<正>《欢乐颂2》延续第一部的剧情,继续讲述居住在欢乐颂小区22楼的五个性格各异而又相亲相爱的女孩身上所发生的有关爱情、亲情、职场的故事。本文将从生态语言学的视角解读
我国自2001年8月正式实施独立董事制度以来,时至今日已有13年的时间。对于这一在国外行之有效的制度,在我国是否也同样发挥了其应有的作用呢?对于这一问题,我国理论界和实务