【摘 要】
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利用多弧离子镀技术,在乙炔和氮气环境下,设定不同沉积温度（150℃、250℃、350℃、450℃）,在316L不锈钢及单晶硅片上沉积Cr CN涂层,通过XRD、XPS、SEM、纳米压痕仪和UMT-3多功
【机 构】
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哈尔滨师范大学光电带隙材料教育部重点实验室,江西理工大学材料科学与工程学院,中国科学院宁波材料技术与工程研究所,中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室
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利用多弧离子镀技术,在乙炔和氮气环境下,设定不同沉积温度（150℃、250℃、350℃、450℃）,在316L不锈钢及单晶硅片上沉积Cr CN涂层,通过XRD、XPS、SEM、纳米压痕仪和UMT-3多功能摩擦磨损试验机等涂层的微观结构、力学性能和摩擦学性能进行表征.结果表明：随着沉积温度的升高,Cr CN涂层的硬度和模量呈现出递增的趋势,在沉积温度为450℃时达到最高,分别为24 GPa和354 GPa;摩擦系数和磨损率则呈现出先递减后递增的趋势,在沉积温度为350℃时达到最低,摩擦系数在大气和水环境下分
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