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比较了压阻式、电容式和隧道式加速度传感器的特点 ,提出了扭摆式隧道加速度传感器的结构 ,给出了工作原理和设计模型 ,最后给出了结构尺寸、版图总图及试制的芯片照片。
The characteristics of piezoresistive, capacitive and tunnel accelerometer are compared. The structure of torsion tunnel accelerometer is proposed. The working principle and design model are given. Finally, the structure size, .