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KLA-Tencor 公司Surfscan SP2^XP是一套专供集成电路 （IC） 市场采用的全新控片检测系统,该系统对硅、多晶硅和金属薄膜上的缺陷灵敏度更高,在按缺陷类型和大小来分类方面具有更强 能力。其特性还包括真空承载装置和业界最佳的生产能力。新系统还提供了超高灵敏度操作模式，可加快晶片厂对3Xnm和2Xnm下一代元件的开发。改善了光学机械和信号处理的设计，