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通过对沉积炉冷却水系统应急电源的设计与优化，确保事故状态下冷却水的可靠供应和沉积炉的安全运行。
沉积炉冷却水系统应急电源设计与优化
【摘 要】
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通过对沉积炉冷却水系统应急电源的设计与优化，确保事故状态下冷却水的可靠供应和沉积炉的安全运行。
【机 构】
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陕西天宏硅材料有限责任公司
【出 处】
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发展
【发表日期】
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2011年1期
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