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采用磁过滤阴极真空弧（FCVA）技术制备了质量厚度为5～7μg/cm2的类金刚石碳（DLC）剥离膜。用XP2U型精密电子天平测试分析了100mm范围内的DLC剥离膜均匀性,结果显示其最大不均匀性小于10%。通过扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、万能摩擦磨损试验机和X光电子谱（XPS）测试分析了DLC剥离膜的表面形貌、耐磨损特性和结构,结果显示采用双90°FCVA技术沉积的DLC剥离膜表面光滑致密、耐磨,几乎没有大颗粒的污染,表征金刚石特性的sp3键含量超过70%。在北京HI-1