【摘 要】
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采用射频磁控溅射法，在300℃衬底温度下制备了不同厚度的Si薄膜，用X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计和原子力显微镜（AFM）分别对薄膜的微结构、光学性质及表面形貌进行了测试分析
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(50642038);教育部博士点专项基金资助项目(20060357003);安徽省自然科学基金资助项目(01044901);安徽省教育厅科研基金资助项目(2004kj030);安徽省人才专项基金资助项目(2004Z029);安徽省信息材料与器件重点实验室(安徽大学)开放基金资助项目
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采用射频磁控溅射法，在300℃衬底温度下制备了不同厚度的Si薄膜，用X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计和原子力显微镜（AFM）分别对薄膜的微结构、光学性质及表面形貌进行了测试分析．结果表明：不同时间下制备的两膜均呈多晶状态；在中红外波段内出现了很强的Si—Si吸收峰；在紫外可见光范围，随着膜厚的增加，Si膜的透过率减弱；AFM测出Si膜的颗粒平均直径在5．65～8．41nm之间．
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