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文章系统综述了硅液相外延最新进展，总结了近期硅液相外延技术在系统改进，低温外延，器件应用等各方面的成果，指出硅液相外延技术将在硅器件制造中发挥更大的作用。
硅液相外延的最新进展
【摘 要】
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文章系统综述了硅液相外延最新进展，总结了近期硅液相外延技术在系统改进，低温外延，器件应用等各方面的成果，指出硅液相外延技术将在硅器件制造中发挥更大的作用。
【机 构】
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浙江大学材料系
【出 处】
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物理
【发表日期】
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1996年11期
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