RF MEMS开关开启电压的计算方法研究

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对桥式RF MEMS开关开启电压的计算方法进行了研究,通过建立力电耦合模型,解联立方程组,得到了开启电压关于各项开关参数的表达式.同时分析了开关的各个参数对其开启电压的影响.
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