论文部分内容阅读
硅微机械扭转微镜在国防和民用领域都有着重要的应用.根据致动机理的不同,从压电驱动方式、电磁驱动方式、电热驱动方式和静电驱动方式等方面系统地阐述了硅微机械扭转微镜的研究现状与发展方向,同时重点讨论了硅微机械扭转微镜在医疗成像和生物技术等领域中的具体应用.
硅微机械扭转微镜的研究进展
【摘 要】
：
硅微机械扭转微镜在国防和民用领域都有着重要的应用.根据致动机理的不同,从压电驱动方式、电磁驱动方式、电热驱动方式和静电驱动方式等方面系统地阐述了硅微机械扭转微镜的
【机 构】
：
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室
【出 处】
：
中国机械工程
【发表日期】
：
2005年z1期
其他文献
基于压电元件的传感和驱动特性,给出了多层式压电智能结构的受控系统模型.提出了一种模态可观测性的度量方法,基于模态可控度和模态可观测度建立了多层结构压电元件最优定位
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
墓志,作为一种祭祀祖先的石刻铭文,原本深埋在墓穴当中,出土以后方显露于世。北魏,在中国历史上是—个政权割据、战火纷飞的时代,也是—个民族大融合的历史时期。北魏洛阳元
<正>甲状腺功能亢进症(甲亢)是由于甲状腺功能过高,甲状腺激素合成和分泌过多,引起的一种综合征。临床上以高代谢症状、神经和心血管兴奋性增强、甲状腺肿大等为主要特征。应
【正】引汉济渭工程是从陕南汉江流域调水至渭河流域关中地区的大型跨流域调水工程,是保障陕西省经济社会发展和生态环境安全的基础性、全局性、战略性、公益性水资源配置工
在详述辽宁省丹东市水资源开发利用现状的基础上,结合国家继续加大对东北老工业基地基础设施建设投入、丹东市“十三五”规划等的要求,指出了丹东市水资源配置存在的问题。针