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为了研究高g值加速度传感器使用时可能出现的失效模式,首先对其组成与结构进行分析,建立了该系统的失效模式故障树.考虑该传感器主要在冲击环境下使用,因此针对冲击环境下可能发生的关键底事件即传感器芯片和外部放大电路进行了有限元仿真.利用ANSYS逐渐增加冲击加速度对关键底事件仿真,最终确定传感器芯片和外部放大电路超过许用应力时的冲击加速度,得出该传感器在高冲击下的三种失效模式：硅梁断裂、焊点脱落、放大器芯片断裂,并提出了改进建议.