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Applications of Secondary Electron Composition Contrast Imaging Method in Microstructure S
Applications of Secondary Electron Composition Contrast Imaging Method in Microstructure S
来源 :Rare Metals | 被引量 : 0次 | 上传用户:FUHENGBIN
【摘 要】
:
1IntroductionInthetraditionalconceptsofscanningelectronmicroscopy,itisusualythoughtthatsecondaryelectronsaresensitivetorugg...
【作 者】
:
刘安生
邵贝羚
安生
王敬
刘铮
【机 构】
:
GenResInstNonFerrousMet
【出 处】
:
Rare Metals
【发表日期】
:
1999年2期
【关键词】
:
SECONDARY
ELECTRON
COMPOSITION
CONTRAST
image
HETEROJUNCTION
semiconducting
devi
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1IntroductionInthetraditionalconceptsofscanningelectronmicroscopy,itisusualythoughtthatsecondaryelectronsaresensitivetorugg...
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