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采用改进的异步脉冲超声喷雾热解技术在玻璃衬底上成功地制备了CuxS(x=1,2)纳米薄膜.研究发现,所制备的CuxS薄膜为多晶态;薄膜的晶相结构依赖于CuCl2·2H2O和硫脲的摩尔比及衬底温度.XRD和XPS分析表明:样品为纯CuxS(CuS,Cu2S),拉曼谱研究表明其峰位分别在472cm-1(Cu2S)和474cm-1(CuzS)处.