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本文通过对荣华二采区10<
Modeling of Perpendicularly Driven Dual-Frequency Capacitively Coupled Plasma
【摘 要】
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本文通过对荣华二采区10
【机 构】
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School of Physics Science and Technology, Anshan Normal University, Anshan 114005,China“,”School of
【出 处】
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黑龙江科技信息
【发表日期】
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2016年2期
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