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摘要:本文报道了分别采用腔外倍频腔外和频技术以及腔内倍频腔内和频技术实现高功率紫外脉冲355 nm激光输出。采用腔外倍频腔外和频结构,在泵浦功率26 W,重复频率49 kHz时,获得了平均功率3.8 W的355 nm紫外脉冲激光输出,从泵浦光到紫外光的光-光转化效率14.6%,光束质量为M2x=1.44,M2y=1.13,可在250 h内连续不间断稳定激光输出。采用腔内倍频腔内和频结构,在泵浦功率20.9 W,重复频率42 kHz时,获得了平均功率3.2 W的355 nm脉冲激光输出,光-光转化效率15.3%,光束质量为M2x=1.10,M2y=1.13,连续不间断稳定激光输出时间超过1 500 h。