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GaAs PIN限幅器是置于通信接收前端抗电磁扰动的重要部件。本文对经受高功率微波后GaAs PIN限幅器损伤形貌的观察,结合其损伤机理分析,揭示了PIN二极管易于损伤的位置以及造成界面损伤的机理,对于GaAs PIN限幅器设计和工艺改进具有一定的指导意义。
高功率微波下GaAs PIN限幅器的损伤机理分析
【摘 要】
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GaAs PIN限幅器是置于通信接收前端抗电磁扰动的重要部件。本文对经受高功率微波后GaAs PIN限幅器损伤形貌的观察,结合其损伤机理分析,揭示了PIN二极管易于损伤的位置以及造
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所,国家半导体器件质量监督检验中心
【出 处】
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环境技术
【发表日期】
：
2019年3期
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