【摘 要】
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液晶面板上配单层触控传感器(Single Layer On Cell,SLOC)产品在完成传感器光刻工艺后,在宏观检查机上观察,基板的彩膜倒角侧存在大面积的不良(Mura),测试不良区域与正常区域
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液晶面板上配单层触控传感器(Single Layer On Cell,SLOC)产品在完成传感器光刻工艺后,在宏观检查机上观察,基板的彩膜倒角侧存在大面积的不良(Mura),测试不良区域与正常区域的关键尺寸(CD)值,不良区域的CD值明显偏大,部分点位超出管控指标;另外,SLOC产品在生产工艺后段模组段缺陷不良高发,缺陷不良平均发生率为2.82%,缺陷不良高发位置与不良和CD偏大区域基本一致,有强相关性。通过旋转涂布等测试以及实际流片观察,锁定造成不良的设备为显影机。由于基板从显影1(DEV#1)进入显影
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