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主要介绍了制备透明导电氧化物薄膜的方法，其中包括磁控溅射法、脉冲激光沉积法（PLD）、喷涂热解法、分子束外延法（MBE）、溶胶-凝胶技术（sol-gel）法，总结了各种方法的优缺点，并对透明导电氧化物薄膜的研究进行了展望。
透明导电氧化物薄膜的制备方法研究
【摘 要】
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主要介绍了制备透明导电氧化物薄膜的方法，其中包括磁控溅射法、脉冲激光沉积法（PLD）、喷涂热解法、分子束外延法（MBE）、溶胶-凝胶技术（sol-gel）法，总结了各种方法的优缺点，并对透明导
【机 构】
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渤海大学,中国石油抚顺石化公司
【出 处】
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渤海大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2011年3期
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