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离子探针在样品上大范围扫描时,需要比较高的偏转电压,为此我们研制了一台高稳定高压偏转放大器,其输出电压为±400伏,稳定度为5×10-6,带宽为25kHz;同时研制了一台纹波小于10mV,输出电流大于50mA的±500伏稳压电源。
双极性高压稳压电源及高稳定偏转放大器
【摘 要】
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离子探针在样品上大范围扫描时,需要比较高的偏转电压,为此我们研制了一台高稳定高压偏转放大器,其输出电压为±400伏,稳定度为5×10-6,带宽为25kHz;同时研制了一台纹波小于1
【机 构】
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清华大学无线电系真空物理教研室; 清华大学无线电系真空物理教研室;
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1989年01期
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