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对微米、亚微米及深亚微米ＣＭＯＳ工艺技术、包括原始硅材料、设计规则、典型器件结构、典型工艺流程和关键工艺技术等，作出全面地概括地分析与研究。
微米,亚微米及深亚微米CMOS工艺技术研究
【摘 要】
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对微米、亚微米及深亚微米ＣＭＯＳ工艺技术、包括原始硅材料、设计规则、典型器件结构、典型工艺流程和关键工艺技术等，作出全面地概括地分析与研究。
【机 构】
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电子工业部东北微电子研究所
【出 处】
：
微处理机
【发表日期】
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1997年1期
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