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由CCD、显微成像装置和计算机组成显微成像检测系统常用于精细加工的高精度显微测量。但由于CCD所采集的图像存在较大的非线性畸变,在检测前必须对系统进行标定。研究提出了一种高效、快速检测系统的标定方法。通过预先设定的高精度标定模板,并采用图像处理技术,计算出模板中参考圆的精确坐标,并以此作为参数,求解由非线性方程组问题构成的矫正模型,获取系统的矫正参数。实验验证了该方法的有效性。