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三氯氢硅是一种非常重要的有机硅单体，被广泛应用于光伏及半导体领域。介绍了三氯氢硅常用制备方法及其优缺点，列举了三氯氢硅的纯化方法。在实际生产中，优先选择冷氢法制备三氯氢硅，该方法的关键是研制出高性能催化剂。根据三氯氢硅粗品的杂质种类，选择合适的纯化方法，得到高纯度的三氯氢硅产品。
三氯氢硅的制备及纯化技术研究进展
【摘 要】
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三氯氢硅是一种非常重要的有机硅单体，被广泛应用于光伏及半导体领域。介绍了三氯氢硅常用制备方法及其优缺点，列举了三氯氢硅的纯化方法。在实际生产中，优先选择冷氢法制备三氯氢硅，该方法的关键是研制出高性能催化剂。根据三氯氢硅粗品的杂质种类，选择合适的纯化方法，得到高纯度的三氯氢硅产品。
【机 构】
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低温与特气
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2023年03期
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