一种新颖的z轴硅微陀螺仪信号检测方案研究

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硅微陀螺仪具有体积小、功耗低、可靠性高等优点,在惯性测量领域有着广泛的应用前景。为了提高陀螺仪测量的灵敏度和信噪比,提出了一种新颖的信号检测方案。该方案研究了硅微陀螺仪驱动模态、检测模态的动力学方程,建立了陀螺仪等效力学模型,观察陀螺仪的动态特性,探讨硅微陀螺仪信号检测方法,并对陀螺仪的机械结构及检测电路进行系统仿真。仿真结果验证了相位检测方案的可行性。
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