【摘 要】
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采用自行研制的常温等离子设备,开展等离子体射流对Nd:YAG晶体表面润湿性和表面力学性能的改性试验研究。结果表明:等离子体对Nd:YAG晶体表面具有明显的改性作用,等离子体改
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51805498),中物院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(K1154-1820-TCJ)
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采用自行研制的常温等离子设备,开展等离子体射流对Nd:YAG晶体表面润湿性和表面力学性能的改性试验研究。结果表明:等离子体对Nd:YAG晶体表面具有明显的改性作用,等离子体改性后3种粗糙度特征的Nd:YAG表面润湿性均获得改善,其中光滑表面由疏水转变为超亲水,且在30 h内保持良好的亲水状态,改性后Nd:YAG晶体表面含氧官能团的增加是润湿性改善的主要原因;Nd:YAG晶体改性后0~11 h、11~22 h、22~35 h,显微硬度分别呈现出保持、下降与回复、稳定的特点,其中11~22 h内具有最低的表面
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