【摘 要】
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研究电容式——维矢量水听器,其内部采用一种基于 MEMS 技术制作的硅微电容式加速度传感器。叙述电容式矢量水听器的设计方法,分析内部振子的工作原理、结构及其动态特性。设
【机 构】
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91388部队45分队,哈尔滨工程大学水声工程学院
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研究电容式——维矢量水听器,其内部采用一种基于 MEMS 技术制作的硅微电容式加速度传感器。叙述电容式矢量水听器的设计方法,分析内部振子的工作原理、结构及其动态特性。设计并制作了工作频带为 20-900 Hz 的电容式矢量水听器,其直径为45mm、高为40mm,矢量通道自由场声压灵敏度为-220 dB （不带前放,测试频率为800 Hz,0 dB=1 V/μPa）,具有“8”字形指向性。研究结果表明：基于 MEMS 技术的超微型传感器,可以成功地应用在电容式矢量水听器的设计当中。合理选择高灵敏度、宽频带的
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