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激光干涉比长仪是用激光波长直接检定线纹尺的工作基准类仪器,可将几何量值直接溯源到国际推荐的激光波长。为减小测量误差,满足测长精度,研究了新的激光干涉比长仪装置。该装置主体结构采用花岗岩石,利用空气静压导轨技术、高精度光电显微镜瞄准技术和空气折射率准实时修正技术等,有效提高了测量精度。
基于动态光电瞄准的2m激光干涉比长仪研究
【摘 要】
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激光干涉比长仪是用激光波长直接检定线纹尺的工作基准类仪器,可将几何量值直接溯源到国际推荐的激光波长。为减小测量误差,满足测长精度,研究了新的激光干涉比长仪装置。该
【机 构】
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航空工业计量所
【出 处】
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机电信息
【发表日期】
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2021年17期
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