Li和Ti共掺NiO薄膜的溶胶-凝胶法制备及其介电性能

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采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2(1mm)/Si基板上制备了Li和Ti共掺NiO基新型无铅介电薄膜材料,研究了薄膜的形貌、结构、介电性能。结果表明。热分解温度(300~500℃)对薄膜结构影响不明显,经600-800℃退火后的薄膜由NiO与Li-Ni—O复合氧化饧组成;经300℃热分解处理、650℃退火后的薄膜,其表面均匀致密,膜厚约300nm,室温下100Hz时的介电常数为767,当频率高于3000Hz后,介电常数随频率的增加趋于减小。
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