【摘 要】
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L波段功率单管有增大功率的需求，但会面临体积较大的问题。基于0.5μm工艺研发了GaN高电子迁移率晶体管（HEMT）管芯，单芯功率达到300 W。通过负载牵引仿真提取模型的输入、输出最佳阻抗点。用高介电常数薄膜电路设计L-C网络，拉高芯片的输入输出阻抗，并抵消虚部。用微带电路设计两级阻抗变换的宽带功率分配器及合路器电路，进行四胞管芯合成。内置稳定电路、栅极和漏极供电偏置电路，实现高度集成化、小型化
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L波段功率单管有增大功率的需求，但会面临体积较大的问题。基于0.5μm工艺研发了GaN高电子迁移率晶体管（HEMT）管芯，单芯功率达到300 W。通过负载牵引仿真提取模型的输入、输出最佳阻抗点。用高介电常数薄膜电路设计L-C网络，拉高芯片的输入输出阻抗，并抵消虚部。用微带电路设计两级阻抗变换的宽带功率分配器及合路器电路，进行四胞管芯合成。内置稳定电路、栅极和漏极供电偏置电路，实现高度集成化、小型化，以及50Ω输入输出阻抗匹配。芯片总栅宽4×40 mm,在漏压50 V、脉宽40μs、占空比4%的测试条件下，在0.96 GHz到1.225 GHz的宽带频段内，输出功率为60 dBm到61.2 dBm,效率为57.9%到72%,饱和功率增益大于14 dB。
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