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为了改善不锈钢表面的耐污染性，以正硅酸乙酯（TEOS）为前驱体，盐酸为催化剂，采用溶胶凝胶工艺，通过引入十三氟辛基乙基三甲氧基硅烷（FAS）降低薄膜表面自由能，制备出具有耐指纹性能的复合薄膜．并研究溶液配方、薄膜层数以及热处理工艺对薄膜性能的影响．薄膜的表面粗糙度随无机膜层数的变化而先减小后增大，对薄膜的接触角有一定影响．制备出薄膜疏水角119．6°，疏油角76．2°，与衬底附着力为1级，可见光透过率90％以上．耐指纹测试色差值小于1．薄膜具有良好的耐指纹性能．