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讨论了光学件波面检测中,采用功率谱密度(PSD)作为重要评价参数的原因、相关的国际标准、PSD计算方法及PSD结果的评价准则等.虽然所进行的讨论主要是针对高功率激光系统中的光学元件检测,但对于其它应用领域的检测也是有借鉴意义的.
关于光学元件波面测量中的功率谱密度
【摘 要】
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讨论了光学件波面检测中,采用功率谱密度(PSD)作为重要评价参数的原因、相关的国际标准、PSD计算方法及PSD结果的评价准则等.虽然所进行的讨论主要是针对高功率激光系统中的
【机 构】
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上海大学精密机械工程系
【出 处】
：
计量学报
【发表日期】
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2003年2期
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