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期刊论文
智能化表面粗糙度检测仪
智能化表面粗糙度检测仪
来源 :计量学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fchbo
【摘 要】
:
研究出一种智能化的表面粗糙度检测仪,其纵向分辨率为0.3nm,横向分辨率为1.27μm,测试重复精度为0.5nm。该仪器不仅可以给出待测表面的二维截面图和三维形貌图,还能提供各种纵向、横向以及综合粗
【作 者】
:
丁志华
王桂英
【机 构】
:
中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
:
计量学报
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
表面粗糙度
位相检测
表面轮廓仪
Surface roughness
Phase detection
Non-contact Mirau-type prof
【基金项目】
:
中国科学院重大课题基金
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研究出一种智能化的表面粗糙度检测仪,其纵向分辨率为0.3nm,横向分辨率为1.27μm,测试重复精度为0.5nm。该仪器不仅可以给出待测表面的二维截面图和三维形貌图,还能提供各种纵向、横向以及综合粗糙评定参数值。本文描述了它的测量原理及设计中的关键技术,并对测量结果作了误差评述。
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