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介绍一种新型的压力传感器，即静电激励电容拾振的硅谐振压力微传感器。该传感器在可靠性，测量精度，体积，重量等方面都有传统的传感器所不能比拟的优点，实验结果表明，其测量精度可以达到0．021％F．S。
一种新型的压力微传感器
【摘 要】
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介绍一种新型的压力传感器，即静电激励电容拾振的硅谐振压力微传感器。该传感器在可靠性，测量精度，体积，重量等方面都有传统的传感器所不能比拟的优点，实验结果表明，其测量精度可以
【机 构】
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北京航空航天大学自动化学院
【出 处】
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仪表技术
【发表日期】
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2001年6期
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