【摘 要】
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静电放电问题是困扰包括半导体晶圆，液晶面板，太阳能模块的生产和加工等众多电子、光电子行业的顽疾。被动防止静电放电需要在加工材料选择，工艺流程优化，生产环境温湿度控制等众
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静电放电问题是困扰包括半导体晶圆，液晶面板，太阳能模块的生产和加工等众多电子、光电子行业的顽疾。被动防止静电放电需要在加工材料选择，工艺流程优化，生产环境温湿度控制等众多环节加以严格限制，其过程复杂，管控起来难度较大。主动预防静电放电的最佳方式就是采用在电子、光电子加工设备上安置离子发生器中来和电子、光电子器件上的多余电荷。离子发生器的性能特点，参数设置等对电子、光电子设备的静电放电控制起着至关重要的作用。
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