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光互连背板的发展现状
光互连背板的发展现状
来源 :印制电路信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qiyesoft
【摘 要】
:
文章概述了光互连背板的发展现状和应用前景,着重介绍了光互连背板的关键材料光波导及其性能指标、加工工艺,并列举了几个重要的光互连背板相关研究工作。
【作 者】
:
刘秋华
吴小龙
方庆玲
【机 构】
:
江南计算技术研究所
【出 处】
:
印制电路信息
【发表日期】
:
2015年09期
【关键词】
:
光互连
背板
波导
UV曝光
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文章概述了光互连背板的发展现状和应用前景,着重介绍了光互连背板的关键材料光波导及其性能指标、加工工艺,并列举了几个重要的光互连背板相关研究工作。
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