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<正> 感光树脂一般是指由于光的作用能发生交联或聚合而成为不溶化,抑或由于发生光分解而成为可溶化的高分子物质。也就是说,当把这种感光性组成物涂布于支持体上并复以图案底片时,一经曝光和显影,就可以在支持体上得到所希望的图象。这种聚合物图象一方面可直接用于印刷。另一方面因它具有抗蚀性,对要求蚀刻加工的表面可以进行选择性的蚀刻。故用于后者的感光性组成物又有光致抗蚀剂(以下简称抗蚀剂)之称。