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本文针对三角测量法激光位移传感器的非线性误差产生原理进行了分析,并提出了误差建模算法。通过建模可实现误差的实时估计,并代入传感器测量值中对误差进行补偿,从而达到提升传感器测量精度的目的。提出了对应的误差测量方法,并对误差进行了实验测量和建模,对模型补偿效果进行了验证,结果表明,通过补偿能够大幅提升传感器的检测精度。