PZT厚膜的制备及其热释电性能研究

来源 :四川大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：hscyg

【摘要】

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相比薄膜而言,厚膜具有更明显的电学效应.PZT厚膜材料制成的器件不仅工作电压低、使用频率高、能与半导体集成电路兼容,而且电学性能优异(与体材料器件相近).PZT厚膜材料是典

【作者】

：

蒲朝辉刘洪徐鹏蔡露肖定全朱建国

【机构】

：

四川大学材料科学系四川大学材料科学系四川成都610064四川成都

【出处】

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四川大学学报(自然科学版)

【发表日期】

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2005年S1期

【关键词】

：

PZT厚膜热释电效应溶胶-凝胶 PZT thick films pyroelectric effect Sol-Gel

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相比薄膜而言,厚膜具有更明显的电学效应.PZT厚膜材料制成的器件不仅工作电压低、使用频率高、能与半导体集成电路兼容,而且电学性能优异(与体材料器件相近).PZT厚膜材料是典型的热释电材料,作者结合自己的研究工作分别从制备工艺、热释电性能的测试以及应用等方面,介绍了目前PZT厚膜材料在热释电器件的研究进展以及存在的问题

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