【摘 要】
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超磁致伸缩薄膜（GMF）的振动特性是决定其驱动性能的重要因素。针对研制出的Cu基双层GMF（TbDyFe/Cu/SmFe）,测量并分析了其磁致回线、矫顽力等磁化特性。在此基础上,采用基于激光位
【机 构】
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大连理工大学精密与特种加工教育部重点试验室
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超磁致伸缩薄膜（GMF）的振动特性是决定其驱动性能的重要因素。针对研制出的Cu基双层GMF（TbDyFe/Cu/SmFe）,测量并分析了其磁致回线、矫顽力等磁化特性。在此基础上,采用基于激光位移传感器的薄膜振动特性试验装置,研究了Cu基GMF悬臂梁在低频低磁场下的振动特性,结果表明,Cu基GMF悬臂梁具有10阶超谐波共振特性,二、三阶超谐波共振的峰峰值均在35μm以上,且其一阶主共振呈现明显的＂软弹簧＂特征。最后,给出了直流偏置磁场和交流驱动磁场对Cu基GMF共振频率和振动幅值等驱动性能的影响规律,为设计
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