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本文详细介绍了用于螺旋线镀金薄膜的磁控溅射设备的研制过程。首先明确了该设备的研制难点,其次对设备的主要组成部分进行了详细的说明,针对设备的几个研制难点提出了解决方案,最后利用研制好的设备进行了膜厚均匀性分析实验。实验表明膜层均匀性良好,达到了预期要求,客户反馈良好。
螺旋线镀金薄膜磁控溅射设备的研制
【摘 要】
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本文详细介绍了用于螺旋线镀金薄膜的磁控溅射设备的研制过程。首先明确了该设备的研制难点,其次对设备的主要组成部分进行了详细的说明,针对设备的几个研制难点提出了解决方
【机 构】
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北京真空电子科技有限公司
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2020年2期
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