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用原子力显微镜AFM等仪器研究了单晶硅表面聚醚（PE）／二苯甲酮衍生物（UV）侧基聚硅氧烷PE-P吣的膜形貌及亲、疏水特性，探讨了空气湿度对PE-P吣膜形貌及表面性能的影响。结果表明，在单晶硅表面PE-PUVSi形成的硅膜呈非均一、微观相分离结构，其中UV侧基以直立纤细尖峰态分布在聚硅氧烷膜表面，而亲水性PE侧基则卷曲堆积成峰包。将PE-PU吣硅膜在相对湿度（RH）为97％的空气中放置2．5h，PE-PUVSi膜表面因吸附水而亲水性增加，其原有的纤细尖峰消失，而且膜表面平均粗糙度降低。