ZnO薄膜晶体管(TFT)的制备工艺研究

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【摘要】

：

平板显示器占有很重要的地位.薄膜晶体管是其驱动器件,氧化锌薄膜晶体管中有重要的作用.氧化锌薄膜晶体管中的氧化锌薄膜是有源层,氧化锌高迁移率、具有较宽的禁带宽度(3.37e

【作者】

：

王德伟张振辉

【机构】

：

150080,黑龙江大学黑龙江哈尔滨

【出处】

：

数字化用户

【发表日期】

：

2017年22期

【关键词】

：

薄膜晶体管磁控溅射 ZnO薄膜

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平板显示器占有很重要的地位.薄膜晶体管是其驱动器件,氧化锌薄膜晶体管中有重要的作用.氧化锌薄膜晶体管中的氧化锌薄膜是有源层,氧化锌高迁移率、具有较宽的禁带宽度(3.37e v).论文主要研究氧化锌薄膜晶体管的结构设计,以及氧化锌薄膜晶体管的制备工艺,结果表明制备出的氧化锌薄膜晶体管有着明显的输出特性和转移特性.

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