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针对热激励谐振型压力传感器在不同激励电压下会产生不同的热梯度场，进而影响传感器的谐振频率这一现象，采用开环测试系统进行试验，得到热激励谐振型压力传感器的热激励幅度与谐振频率的变化规律；并对实验结果进行了进一步的分析，为合理优化设计传感器的相关参数提供了一定的理论依据。
热激励谐振型压力传感器激励电压的影响与分析
【摘 要】
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针对热激励谐振型压力传感器在不同激励电压下会产生不同的热梯度场，进而影响传感器的谐振频率这一现象，采用开环测试系统进行试验，得到热激励谐振型压力传感器的热激励幅度与谐
【机 构】
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重庆邮电大学,模拟集成电路国家级重点实验室,中国电子科技集团公司第二十四研究所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2008年6期
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