磁约束电感耦合等离子体增强反应溅射沉积nc—TiN/a—Si3N4纳米复合薄膜

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pxp99
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
介绍一种新型磁束缚电感耦合等离子体增强的物理化学气相沉积复合系统, 并用该系统通过反应磁控溅射TiSi合金靶, 在氩气和氮气等离子体作用下, 在单晶硅衬底上制备了nc-TiN/a-Si3N4纳米复合薄膜.扫描电子显微镜、X射线衍射仪、X射线光电子谱仪和高分辨率透射电子显微镜的分析和观察结果清晰地表明该薄膜是具有纳米结构的复合薄膜, 主要由镶嵌在非晶态Si3N4 基体中的TiN纳米晶粒组成, TiN晶粒的尺寸约为3nm.
其他文献
在三网融合的背景下,广电系统的市场被不断蚕食,市场竞争的压力也在不断增大,而拥有一个可控的优质网络,才是在这种劣势环境中的安身之本。CNR+CMTS的模式是更贴近于广电现状
介绍了针织三维结构预制件技术及由其组成的经编结构复合材料的结构特点和应用,指出圆机间隔结构技术的发展将对圆机的革新起到很大的促进作用.
针对500 kV变电站单相和三相共体变压器,分别从绝缘水平、冷却方式、主分接阻抗和损耗等几个方面进行了分析对比。对三相共体变压器的运输方案、现场组装技术和场地布置情况进
文章分析了重大水利工程建设促进国民经济增长的作用机制,采用投入产出分析模型从投资带动效应、就业促进效应两个方面,测算分析2018年重大水利工程在建期间对于经济增长的有
针对汽轮机冷源损失大的问题,通过实施高背压+热泵供热改造,回收利用汽轮机乏汽,将低品位乏汽的热量用以供热,经过试验与实际运行应用,高背压+热泵供热节能效果显著,不仅降低了
文章通过对石油公司ERP系统和电子商务的整合的有效性研究,为系统整合提供运行方案,提出具体措施。期望为石油公司的ERP系统和电子商务业务的有效整合提供借鉴作用。
混合价态的锰氧化物Pr1-xCaxMnO3 薄膜是近年来国际上超导体以及巨磁电阻领域的研究热点之一.本文采用化学溶液沉积方法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备出Pr1-xCaxMnO3薄膜, 降低
在幼儿园美术活动中,教师对幼儿作品的评价在整个活动中起着重要的作用,对幼儿有着深刻影响。但由于多种因素,教师往往只重视教学的导入和幼儿知识获取的过程,其评价往往流于形式
随着我国经济的高速发展,人们生活水平有了很大提高,以往不被重视的工程安全和卫生问题也逐渐得到了重视。文章针对城市轨道交通施工和运营期间,影响到工程安全和卫生的因素
随着经济全球化和中国城市化、工业化的高速发展,中国经济对矿产资源的需求快速增长,国家通过实施“走出去”战略,鼓励具备条件的中国企业进行海外矿产资源投资。金川集团公