【摘 要】
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引言采用通常的晶体管制造工艺,要在单片上制出即使不是特别多的器件的大型矩阵已被证明是很困难的。这有好几个原因,其中最重要的原因是光刻中相继的腐蚀掩模精密对准中所固
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引言采用通常的晶体管制造工艺,要在单片上制出即使不是特别多的器件的大型矩阵已被证明是很困难的。这有好几个原因,其中最重要的原因是光刻中相继的腐蚀掩模精密对准中所固有的陷坑,以及在以后不易获得高质量的氧化层。本文的目的在于引入新的工艺概念以求彻底解决或尽量减少这些问题。这些概念涉及到以这样的方式来应用现有的材料和技术:在加工的每一步不要求很高精度并能达到自掩蔽的目的。这一方法的特点,一是利用在开始时所淀积的绝缘层,由于有不同的溶解度因此在腐蚀工序中能达到自掩蔽的目的;一是采用了淀积多晶硅工艺,它既作为自对准
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